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　　入射狹縫的故障前面已經提到，下面針對電感耦合等離子體光譜儀入射光路的故障進行介紹。

　　(1)光路無靜態氬氣保護。光路是密封的非真空狀態，必須用靜態氬保護才能保證紫外線200nm以下元素的準確分析。有時光路的靜態氬氣氣路被阻或掉下，造成光路無靜態氬。另外調節靜態氬的氣閥出現故障也會出現這種現象。電感耦合等離子體光譜儀開機使用時，必須保證氬氣打開20min以上才能做狹縫掃描和工作曲線校準。因為時間太短會造成光路靜態氬還沒有達到飽和而造成200nm以下的元素光強值逐步增加的現象。原來校準的工作曲線會造成碳、磷、硫等元素含量偏高。

　　(2)左、右樣品架的人射窗口被污染，使分析結果嚴重偏低。石英窗必須經常進行清洗，常用5%的鹽酸或酒精進行清洗。清洗之元素的光強值會明顯增加。安裝時應注意石英窗的密封，不使氬氣泄漏。

　　(3)系統工作正常，高壓供電正常，分析結果為“0”。這種故障出現在Hg燈反射針或右架反射鏡的電感線圈位置不對時。左架曝光時，Hg反射鏡沒有退出光路，左架激發光不能進入人射光路被Hg反射鏡擋住。在右架激發時，曝光階段右架反射鏡沒有進入光路，使激發光不能反射到人射光路。解決辦法：

　　1)重新安置反射鏡動作的電感線圈驅動位置。

　　2)檢查反射鏡動作的控制信號。

　　3)檢查右架反射鏡是否掉下來了。

　　(4)同一樣品左、右架激發的光強值不同。造成這種情況需要調整右架反射鏡的反射偏轉角。