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原理：將復色光源分離成準單色光源，探測單色光源的成分所占比例。

ICP光譜儀( Spectroscope)，又稱分光儀。以光電倍增管等光探測器在不同波長位置，測量譜線強度的裝置。其構造由一個入射狹縫，一個色散系統，一個成像系統和一個或多個出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長或波長區域，并在選定的波長上(或掃描某一波段)進行強度測定。分為單色儀和多色儀兩種。

用處：很多應用領域需要檢測各類物質的含量，比如前幾年的三聚氰胺超標事件，通過計算某種單色光的入射與出射對比，判斷是否含有或含有多少某種物質。因為檢測特定的物質，都是基于特定的生化、物理反應，往往借助于光強信號衰減來檢測。

ICP光譜儀是將成分復雜的光分解為光譜線的科學儀器，由棱鏡或衍射光柵等構成，利用光譜儀可測量物體表面反射的光線。陽光中的七色光是肉眼能分的部分(可見光)，但若通過光譜儀將陽光分解，按波長排列，可見光只占光譜中很小的范圍，其余都是肉眼無法分辨的光譜，如紅外線、微波、紫外線、X射線等等。通過光譜儀對光信息的抓取、以照相底片顯影，或電腦化自動顯示數值儀器顯示和分析，從而測知物品中含有何種元素。這種技術被廣泛地應用于空氣污染、水污染、食品衛生、金屬工業等的檢測中。

性能好壞：一般ICP光譜儀都有重要的參數指標，比如狹縫寬度對應波長的帶寬，這個決定檢測的準確性，等等很多專業的技術。