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轉輪除濕機案例_半導體行業(yè)轉輪除濕機前景

日期:2020/7/21 0:00:00    點擊次數(shù):5886    來源:鉑克空調

轉輪除濕機案例_半導體行業(yè)轉輪除濕機前景

          最近幾年,半導體產(chǎn)業(yè)風起云涌。一方面,中國半導體異軍突起。另一方面,全球產(chǎn)業(yè)面臨超級周期,加上人工智能等新興應用的崛起,大批的外資企業(yè)在中國設立其制造基地,特別是近年來半導體行業(yè)的大舉進入,其全新的生產(chǎn)工藝及生產(chǎn)過程中對環(huán)境溫度、濕度、潔凈度有較高的要求, 需要我們提供一個比較有效且比較低能耗的空調系統(tǒng), 特別需要有低濕度的空調環(huán)境保證。

          半導體生產(chǎn)車間要求在全年四季的氣候條件下,維持相對穩(wěn)定的環(huán)境,包括溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織,壓力平衡等多個空調參數(shù)。有別于其他行業(yè)的恒溫恒濕空調系統(tǒng),由于電子產(chǎn)品對靜電比較敏感和品質受高濕度環(huán)境的影響比較大,因此半導體行業(yè)要求更低的相對濕度環(huán)境。

半導體車間.jpg

          通常半導體生產(chǎn)車間的溫濕度要求為: T=22±2°C,RH=45 ±5%;雖然采用傳統(tǒng)的冷凍除濕 +電加熱(再熱)方式進行處理,也取得了一定成果。但這種方式存在一個致命的能耗問題,特別是半導體行業(yè)的大新風,大排風系統(tǒng)、生產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區(qū)的特殊情況,使得這個問題十分突出。 針對這種情況,合肥鉑克空調采用新風機組+轉輪除濕機+組合式空調機組的技術方案, 達到室內送風溫、濕度要求的同時,并取得了顯著的節(jié)能效果。

轉輪除濕機工作原理圖.jpg

          冷卻除濕循環(huán)系統(tǒng)與轉輪除濕機相結合,利用制冷系統(tǒng)的吸熱除濕進行前期除濕,而利用轉輪除濕機進行深度除濕。充分發(fā)揮兩者的優(yōu)點,揚長避短。冷卻除濕作為前期除濕,突出了冷卻除濕機高露點工況下能耗低的特點,利用轉輪除濕進行深度除濕,突出了轉輪除濕機低溫低濕條件下,不受露點限制且除濕量大的優(yōu)點。

          目前,空氣除濕主要有四種方式,通風除濕、冷卻除濕、液體吸濕劑除濕和固體吸附劑除濕。在空調除濕系統(tǒng)中,冷卻除濕和固體吸附劑除濕是主要手段。冷卻除濕在環(huán)境對濕度要求不是很高( RH>60~ 65%)的條件下,效果還是比較好,性能穩(wěn)定且能耗也比較低,目前應用比較廣泛。但在生產(chǎn)環(huán)境對濕度要求較高(RH=45 ±5%)的地方,采用冷卻除濕就明顯是不經(jīng)濟的。采用轉輪除濕機,將不受空氣露點影響,且除濕量大,特別適用于低濕條件下,但如果全部除濕僅采用固態(tài)吸附原理的轉輪除濕機進行,由于其再生耗能量也比較大,此種方案也不是最經(jīng)濟的。由于轉輪除濕和冷卻除濕各有所長,將其優(yōu)化組合,各取所長,互補所短,會更好的發(fā)揮其效能。

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